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為實(shí)用上便利起見(jiàn)，人們常把真空度粗劃為幾個(gè)區(qū)段，根據(jù)GB/T3163—93，真空區(qū)域大致劃分如下

低真空    105Pa～102Pa                          中真空    102Pa～10-1Pa

高真空   10-1Pa～10-5Pa                         超高真空  ＜10-5Pa

隨著真空技術(shù)的發(fā)展，在更低壓力下，氣體空間的物理特性有了新的特點(diǎn)，真空獲得和真空測(cè)量有了新的手段，區(qū)域劃方法如下

低真空    105Pa～102Pa                           中真空    102Pa～10-1Pa

高真空    10-1Pa～10-5Pa                        超高真空 10-5Pa～10-9Pa

極高真空  ＜10-9Pa